Heizen wie im Weltall
Beheizungslösung im Vakuum für Halbleiter- und Beschichtungsindustrie
Der Auftrag kam aus der Beschichtungsindustrie: „Wir benötigen eine Substratheizung bzw. einen Strahlungsheizer zur Trocknung von Substrat bei 850°C im Vakuum.“ Die ThermoExperten nahmen die Herausforderung der homogenen Wärmeverteilung gerne an und entwickelten, konstruierten und produzierten schließlich eine optimale Lösung für diese kundenspezifische Anwendung: ein mineralisolierter Mantelheizleiter mit übergangslosen Kaltenden inklusive einer Vakuum tauglichen Flanschdurchführung sind das Ergebnis, wobei die Enden des Heizleiters und der Thermoelemente aus dem Vakuum geführt werden. Die Temperaturüberwachung erfolgt klassischerweise durch die Mantelthermoelemente. Beim Leaktest haben die Flansche den Test sodann auf Dichtigkeit bestanden. Der Clou: Die Oberfläche des Strahlungsheizers, also die Platte, verzieht sich im Prozess kein Stück!